Labacre Worldwide
高纯气体检测仪

高纯气体检测仪:

应用难点:

       高纯气体应用领域极广,无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂,都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业,高纯氮,氢,氩,氦可作为载气,保护气和配制混合气的气体来源。

       高纯气体中的微量杂质分析是色谱分析领域的难点。气体制造商必须确保所供应的气体符合技术规格,确保气体中主要微量杂质极低的检测限。常规检测器中,因受到检测灵敏度或是检测气体种类数量的限制,均无法满足实验室用户对高纯气体的

分析要求。

 

解决方案:

       Ellutia高纯气体分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法和应用方案,检测限可低至ppb级(<50ppb)。此外,根据不同应用要求,对本套系统进行调整或升级,实现客户化定制功能。

 

微 量 杂 质:

       高纯气体应用领域极广,无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂,都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业,高纯氮,氢,氩,氦可作为载气,保护气和配制混合气的气体来源。

       高纯气体中的微量杂质分析是色谱分析领域的难点。气体制造商必须确保所供应的气体符合技术规格,确保气体中主要微量杂质极低的检测限。常规检测器中,因受到检测灵敏度或是检测气体种类数量的限制,均无法满足实验室用户对高纯气体的分析要求。

       Ellutia高纯气体分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法和应用方案,检测限可低至ppb级(<50ppb)。此外,根据不同应用要求,对本套系统进行调整或升级,实现客户化定制功能。

       标准配置中,此套系统可以检测气体中几类主要杂质,如下表所示:

H2 Ar/O 2 N2 CH4 CO CO2

He √ √ √ √ √ √

H2 × √ √ √ √ √

Ar √ × √ √ √ √

N2 √ √ × √ √ √

CO2 √ √ √ √ √ ×

© 2008-2018 版权所有 LABCARE 通用实验公司
沪ICP备09005869-1